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半导体硅片清洗机 苏州芯矽超声波硅片清洗机设备专业厂家

可以让你减少人工干预,有效清除硅片表面的废屑和金属离子等杂质,这对于***半导体器件的性能和可靠性至关重要。

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    江苏 苏州 吴中区 工业园区江浦路41号
产品特性:高效清洁是否进口:否产地:苏州
加工定制:是类型:根据需求定制适用领域:电子行业
用途:工业用槽数:定制型号:自定义
品牌:苏州芯矽科技

半导体硅片清洗机主要用于去除硅片表面的颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。这些污染物即使是微量存在也可能导致器件失效,因此清洗过程至关重要。


主要类型

槽式清洗设备:包括化学清洗槽和兆声清洗槽等,适用于不同的清洗需求和化学液浓度。

旋转喷淋清洗系统:在一个密封的工作腔内完成化学清洗、去离子水冲洗和旋转甩干,减少了人为操作的影响。

刷洗器:主要用于硅片抛光后的清洗,有效去除大颗粒。


产品特点

自动化程度高:许多现代硅片清洗机配备了自动配酸装置、自动补液装置和氮气鼓泡装置,提高了生产效率和产品质量。

材料耐腐蚀:采用德国进口PP板制作而成,全面完善的防酸防腐措施保护机器每个角落。

高效节能:例如,DFQ系列全自动单晶圆湿处理设备产能≥1200片/h,开工率>92%,碎片率≤3‰。


典型工艺

湿法清洗:包括RCA清洗和改进的RCA清洗,使用特定的化学液和温度条件来去除硅片表面的污染物。

自然氧化层去除:使用HF溶液去除硅片表面的自然氧化层,以准备后续工艺。


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